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半导体抛光液制备装置

描述：半导体抛光液制备装置是用于生产半导体抛光液的专用设备。

  • 厂商性质：生产厂家
  • 更新时间：2024-08-14
  • 访问量：203
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产品详情/ PRODUCT DETAIL

标题：半导体抛光液制备装置

产品概述

半导体抛光液制备装置是用于生产半导体抛光液的专用设备。


它通常由以下几个主要部分构成：


原料储存系统：


  • 多个不同规格的储罐，分别用于存放磨料（如纳米级二氧化硅、氧化铝等）、化学添加剂（如氧化剂、表面活性剂、螯合剂等）以及溶剂（如水、有机溶剂等）。


精确计量系统：


  • 高精度的计量泵或称重传感器，能够按照精确的配方比例准确地添加各种原料。


搅拌混合系统：


  • 强力搅拌器或均质机，确保各种原料充分混合均匀，达到微观层面的均匀性。


温度控制系统：


  • 加热和冷却装置，可根据需要控制反应和混合过程中的温度，以优化化学反应和物理混合效果。


过滤系统：


  • 精细的过滤装置，如微孔过滤器或超滤膜，用于去除可能存在的大颗粒杂质和团聚物，保证抛光液的纯净度。


质量监测系统：


  • 在线粒度分析仪：实时监测磨料颗粒的粒径分布。

  • pH 计：检测溶液的酸碱度。

  • 电导率仪：测量溶液的电导率，以评估溶液中离子的含量。


自动化控制系统：


  • 对整个制备过程进行自动化控制和数据记录，保证生产的稳定性和可重复性。


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