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描述:CMP 化学机械抛光液生产装置是用于大规模制造 CMP 化学机械抛光液的重要设施。
标题:CMP化学机械抛光液生产装置
产品概述
原料储存罐:用于存放各种原材料,如磨料、化学添加剂、溶剂等,并具备良好的密封性和防腐蚀性能。
精确计量系统:包括高精度的计量泵和传感器,确保每种原料的添加量准确无误。
反应釜:这是核心部件,通常具有搅拌、加热和冷却功能,以促进化学反应和物料混合。
均质设备:如均质机或乳化机,用于使抛光液中的颗粒均匀分散,提高产品稳定性。
净化过滤系统:由多级过滤器组成,能够去除杂质、大颗粒和微生物,保证抛光液的纯净度。
灌装系统:包括灌装泵、管道和灌装头,实现抛光液的快速、准确灌装。
控制系统:采用先进的自动化控制技术,对整个生产过程中的温度、压力、流量、搅拌速度等参数进行精确控制和监测。
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